X射線是指波長為0.01~10nm的電磁波,1895年倫琴(W.C.Roentgen)在使用放電管工作時發現了X射線,因為這一個重大發現,倫琴于1901年獲得了諾貝爾獎。1913年莫斯萊(H.G.Moseley)建立了X射線波長與原子序數的關系,奠定了X射線熒光光譜分析(X Ray Fluorescence,XRF)的基礎,1948年弗里德曼(H.Friedmann)和伯克斯(L.S.Birks)研制出第一臺商用X射線熒光光譜儀。
隨著新技術的發展,X射線在現代分析化學中得到廣泛應用,除了X射線熒光光譜法外,還有X射線衍射分析,X射線光電子能譜等。