一、分析物的原子發射光譜
ICP光源中原子發射光譜有兩個特點，一是光譜由許多譜線構成，譜線比較復雜，特別是過渡元素、鑭系元素和錒系元素；二是離子譜線比較靈敏，強度較高。由于ICP光源有很高的激發溫度和較強的電離能力，可以將原子和離子激發到各高能態，產生多條原子譜線和離子譜線，構成較為復雜的原子及離子光譜圖。
與其他發射光譜光源相比，ICP光源中鎂的離子線強度遠高于原子線，但并非所有元素都是這樣，堿金屬及某些非金屬元素的原子線強度較高。
二、分子發射光譜
ICP光源是不均勻的等離子體，各部分溫度相差較大。在尾焰、初始輻射區及焰炬的外圍，由于溫度較低，適合激發分子光譜，可能對某些微量元素的測定產生干擾，常見的分子譜帶有OH、NO、NH、N2+。在有機化合物存在時還會有較強的CN帶及C2帶。
三、連續背景發射光譜
雖然ICP光源的觀測區的光譜背景發射較碳電弧光源低，但仍有明顯的背景光譜疊加在元素光譜上，必須扣除背景，否則標準曲線不通過原點。ICP光源的背景光譜主要特點是由遠紫外到近紅外波段發射強度逐漸增加。
產生連續光譜背景的因素有黑體輻射、韌致輻射及復合輻射三種。高濃度堿土元素和其他元素也能產生較強的散射光，疊加到連續光譜背景上。