1）環境
ICP儀器最好安置在一個獨立的房間內，儀器四周留有大于0.4米（最好為0.76米）的空間，以便于檢查和維修；室內溫度保持在20-25℃，溫差變化一個工作日內不超過±2℃；濕度范圍在8-80（%RH）；并且要求無氣流影響和無腐蝕性氣體、無塵和低濕度，最好使用空調來控制環境。
2）排氣
ICP儀器所產生的氣體有可能是有毒的或有腐蝕性的，所以點火前必須將排氣系統打開，使ICP所產生的煙和氣體能從ICP上方的通風管排出。
3）ICP儀器的炬管
在工作時所達到的溫度為10000K，點火前必須將ICP的艙門關嚴并鎖緊，以防止炬管意外爆裂造成人員損傷。
4）水冷卻器
水冷卻系統要求經常檢查和維護，水位應保持在正常水平，必要時增加去離子水，水冷卻器的溫度應設置在20℃、壓力設置在3公斤左右。
5）霧化室
必須每月清洗，關掉儀器取下霧室，放入裝有表面活性劑的超聲波的容器中，再沖洗，重新安裝。
6）霧化器
操作過程中經常用干凈的沖洗液沖洗以防止沉積。如果氣流量變小，需要增大氣壓，則可能小氣口被堵塞，需關掉儀器取下霧化器，把霧化器抽成真空放入干凈的水中。如仍不能除掉阻塞，放入超聲波中清洗2-3分鐘。如仍不能除掉阻塞，最后的辦法是用線針檢查。洗干凈并除掉堵塞源后重新裝上。霧化器的樣品進入管和氣體進入管必須合適并沒有泄漏。
7)感應線圈
感應線圈變形會導致高頻發生器傳遞給等離子體的能量不穩定，并有可能 使炬管熔化。如果懷疑感應線圈變形，應更換線圈。
8)冷錐體
可能會有沉積物，必須經常清洗：關掉儀器讓炬管和錐體冷卻，取下錐體的三個固定螺絲，從炬管艙中取出錐體。用濕毛巾和合適的清潔劑清洗錐體的兩面，再用去離子水清洗，用干凈布擦干，重新裝上并擰緊螺絲。
9)清洗炬管的方法
關掉儀器后讓設備冷卻，打開炬管室門，斷開炬管的氣路管，抓住炬管，松開炬管夾，取出炬管。為了除掉鹽沉積，將炬管用清水沖洗風干。為了除掉其他沉積和污染，將炬管浸在王水中一整夜，再用清水沖洗并風干，不能除掉的沉積物可再浸在氫氟酸中五分鐘，取出觀察直到炬管干凈，再用清水沖洗并風干。
10)進樣和排液管
有特殊的彈性，長期使用之后管子會變形或軟化，需要更換。
11)空氣過濾器
該過濾器在儀器頂部，對吸入的起冷卻作用的空氣進行過濾，必須經常進行清潔。清潔方法為：移掉格柵取出過濾器，去除灰屑，如果有油膩，用溫和的清潔劑清洗，晾干后再裝上。
12）水冷卻過濾器
必須每六個月清潔一次。清潔時，斷開水冷卻器的回流管，打開水冷卻器，使水流到一個容器中。松開過濾器的螺絲，取下過濾器，用溫和的清潔劑清洗，再用水清洗干凈，重新安裝并聯接好。