ICP的形成就是工作氣體的電離過程。為了形成穩定的ICP炬焰需要四個條件：高頻高強度的電磁場、工作氣體、維持氣體穩定 放電的石英炬管及電子離子源。具體裝置見圖。炬管是由直徑20mm的三重同心石英管構成。石英外管和中間管之間通10~20/min的氬氣，其作用是作為工作氣體形成等離子體并冷卻石英炬管，稱為等離子體氣或冷卻氣；中間管和中心管通入0.5~1.5L/min氬氣，稱為輔助氣，用以輔助等離子體的形成。中心管用于導入試樣氣溶膠。石英炬管外套有高頻感應圈，感應圈一般為2~4圈空心銅管。
圖1 等離子體形成裝置
形成ICP焰炬通稱為點火。點火分三步：第一步是向外管及中管通入等離子體和輔助氣，此時中心管不通氣體，在炬管 中建立氬氣氣氛；第二步向感應圈接入高頻電源，一般頻率為27~40MHz,電源功輸入的氳氣流；I高頻 率為1~1.5kW,此時線圈內有高頻電流I及由它產生的高頻電磁場。由于在室溫下干燥的氬氣并不導電，不會在氣中產生感應電流，必須用其他方法使氬氣局部電離成為導體，高頻電磁場才能使它進一步電離形成等離子體。使氬氣部分電離的方法有兩種，一種是石墨棒加熱法，目前多用能產生尖端放電的高壓 Tesla線圈，在管內氬氣流中形成絲狀放電，使氬氣局部電離為導電體，并進而產生感應電流。感應電流加熱氣體形成火炬狀ICP炬焰。圖1中橢圓狀的陰影部即為環形感應電流的截面圖。ICP光源就是高頻電源通過電磁感應的非接觸方式，把能量不斷傳輸給氬氣而形成穩定的等離子體。等離子體氣的切向輸入是有利于形成感應電流的閉合環路，并在管口形成負壓，使點火容易。