有時錯誤地稱為"電子撞擊"電離,這種電離技術是電子與顆粒(原子或分子)相互作用的結果;該技術被認為是‘硬'電離技術,因為電離過程中傳遞大量能量,破壞分子內部化學鍵,破壞這些化學鍵需要高達千卡/摩爾的能量。電離電壓(通常70eV)指的是引起電子加速的電壓差,該電壓誘導電子電離。
不同于CI,EI通常在高真空下工作,以避免不可控的碰撞。分析器也在非常高的真空下工作(10-4到10-6托)。
