ICP矩焰形成的過程（見圖1）就是ICP工作氣體電離的射感應線圈過程。
圖1 等離子體焰炬
形成ICP炬焰必須具備四個條件：
（1）負載線圈
為2～4匝鋼管，中心通水冷卻。高頻發生器為其提供高頻能源。頻率采用27.12MHz或40.68MH工頻，功率為1～1.6kW。
（2）ICP炬管
由三管同心石英玻璃制成。外管?約20mm、中間管?≈16mm、內管出口處? 1.2～2mm。外管氣體以切線方向進入。
（3）工作氣體
一般使用氬氣，外管與中間管之間通氯等離子體入10～20L/min氬氣，稱為等離子氣（通常稱為冷卻氣），它是形成等離子體的主要氣體，起到冷卻炬管的作用。中間管與內管之間通入0.5～1.5L/min氬氣，稱為輔助氣，它的作用是提高火焰高度，保護內管。內管通入0.2～2L/min氬氣，稱為載氣，它的作用是將樣品氣溶膠帶入ICP火焰。
（4）高壓Tesla線圈
通過尖端放電引入火種，使氬氣局部電離為導電體，進而產生感應電流。當高頻電流通過負載線圈時，其周圍空間產生交變磁場H，這種交變磁場使空間氣體電離，但此時它仍是非導體。炬管內雖有交變磁場卻不能形成等離子體火焰。如果在管口處用Tesla線圈放電，引入幾個火花，使少量氬氣電離，產生電子和離子的“種子”。這時，交變磁場就立即感應這些“種子”，使其在相反的方向上加速并在炬管內沿閉合回路流動，形成渦流。這些電子和離子被高頻場加速后，在運動中遭受氣流的阻擋而發熱，達到高溫，同時發生電離，出現更多的電子和離子，而形成火焰狀的等離子焰炬。此時，負載線圈像一個變壓器的初級線圈，等離子體火焰是變壓器的次級線圈，也是它的負載。高頻能量通過負載線圈第耦合到等離子體上，而使ICP火焰維持不滅。