可能的原因1：供應商提供的氬氣純度不夠或管道漏氣
解決辦法及建議：ICP點火最好使用純度大于99.995%的高純氬，由于國內氬氣供應商只標識99.99%的純氬及99.999%的高純氬，因此，推薦客戶使用99.999%的高純氬。并選擇可靠的供應商。另外，每次使用氬氣務必不能全部使用完，因為如果使用完后，會有空氣混入鋼瓶，不負責任供應商，不用高純氬沖洗鋼瓶就直接罐裝，則會導致標識為99.999的高純氬實際純度不夠。因此，為了保證大家都能上符合要求的氬氣，我們建議當氬氣使用到還有1.5MPa左右時考慮更換。
此外，ICP點火前，儀器會用氬氣對進樣系統進行吹掃，以排除進樣系統內的空氣，然后在氬氣的氛圍內點火。如果氬氣管路漏氣，則會混入空氣，則相當于使用了純度不夠的氬氣，導致點火困難。因此，定期檢查管道各接頭是否有漏氣是必須的。
值得一提的是，使用不純的氬氣對儀器RF PCB的損害也是相當大的，由于氬氣純度不夠，RF功率板會嘗試增加功率來點火，當然，儀器會有自我保護，不會一味的增加點火功率，但使儀器常期在超負荷的情況下工作，必然會縮短其工作壽命。當RFPCB燒毀后，點不著火是必然的。
可能的原因2：氣體管路太長導致不能維持點火所需的氣流量及穩定性。
解決辦法及建議：儀器點火時，需要給其提供一個穩定且足夠流量氬氣流(這個流量是軟件設定好的，必須滿足)。因此氣體管道不宜太長，過長的氣體管路會有明顯的壓降，因此鋼瓶端的分壓可以適當的調高些，并盡可能在儀器附近再安裝一個量程合適并質量好的減壓閥，以保證提供給儀器穩定的氣流量。
可能的原因3：冷卻循環水不達要求。
解決辦法及建議：客戶可能很難想到因冷卻循環水的原因點不著火，具體解釋
（1）冷卻水流量不足導致無法點火，如果客戶不定期更換冷卻循環水或使用水質不達標，則容易在水箱及水管表面滋生藻類和細菌，當達到一定量時，會堵塞管路，從而降低水流量，影響制冷效果，進而影響RF線圈及RFPCB板的壽命。因此定期更換冷卻循環水，清洗水箱及水過濾器(如配置)，并加入專用的抑菌劑是非常重要的維護項目，建議不加抑菌劑的情況下每月更換循環水或使用抑菌劑的情況下每季度更換循環水。另一種冷卻循環水流量不足的原因是水壓設置不當，工程師安裝時會調試好水循環的水壓，這時客戶最好記錄下正常使用時水壓設置(包括點火前及點火后)，以作參考對比。
（2）盡量使用純凈水或去離子水。由于一般水質含有較高的Na，K，Cl等無機離子，這些離子會提高循環水的電導率。電導率較高的水相當于一個電解池，對銅線圈有很大的腐蝕，同時影響RF頻率的耦合效果，導致點火困難，更有甚者，線圈和RFPCB的被蝕穿而漏水，出現燒炬管和燒毀RFPCB的后果。