1 對氣體控制系統的維護保養
（1）氬氣的純度
等離子光譜儀所用氬氣的純度要使用使用高純氬氣，一般要4個9以上，氬氣不純會造成點不著火或ICP熄火。
（2）氣流穩定
ICP的氣體控制系統是否穩定正常地運行，直接影響到儀器測定數據的好壞，如果氣路中有水珠、機械雜物雜屑等都會造成氣流不穩定，因此，對氣體控制系統要經常進行檢查和維護。首先要做氣體試驗，打開氣體控制系統的電源開關，使電磁閥處于工作狀態，然后開啟氣瓶及減壓閥，使氣體壓力指示在額定值上，然后關閉氣瓶，觀察減壓閥上的壓力表指針，應在幾個小時內沒有下降或下降很少，否則氣路中有漏氣現象，需要檢查和排除。第二，由于氬氣中常夾雜有水分和其它雜質，管道和接頭中也會有一些機械碎屑脫落，造成氣路不暢通。因此，需要定期進行清理，拔下某些區段管道，然后打開氣瓶，短促地放一段時間的氣體，將管道中的水珠，塵粒等吹出。在安裝氣體管道，特別是將載氣管路接在霧化器上時，要注意不要讓管子彎曲太厲害，否則載氣流量不穩而造成脈動，影響測定。
2 對進樣系統及炬管的維護
（1）霧化器
是進樣系統中最精密，最關鍵的部份，需要很好的維護和使用。要定期的清理，特別是測定高鹽溶液之后，如果不及時清洗，會造成霧化器堵塞,每次測定完以后，關機之前要把吸管放進稀酸溶液清洗一會。霧化器堵塞以后，要用手堵住噴嘴反吹，千成不要用鐵絲等硬物去捅。
（2）炬管
每次安裝炬管,位置一定要裝好，防止炬管燒掉，作樣時尤其是高鹽份樣品，炬管噴嘴會積有鹽份,造成氣溶膠通道不暢,常常反映出來的是測定強度下降，儀器反射功率升高等。炬管上積塵或積炭都會影響點燃等離子體焰炬和保持穩定，也影響反射功率，甚至會造成熄火。因此，要定期用酸洗，水洗，最后，用無水乙醇洗并吹干，經常保持進樣系統及炬管的清潔。長時間不清洗炬管，會造成很難清洗干凈的現象。
（3）氫氟酸介質
由于霧化器和炬管以及霧室都是玻璃或石英，所以在進氫氟酸介質的樣品時一定要趕氫氟酸，或者更換耐氫氟酸系統，不然，你的進樣系統的壽命會大大的縮短，尤其是霧化器和霧室，最強的一個實驗室，就用普通進樣系統進氫氟酸介質的樣品，一年買了30個霧化器，10個霧室，還好他用的是國產儀器，配件比較便宜。