電源：220V，50Hz
水源：城市自來水
出 水 量：20L/h
總有機碳：TOC≤5ppb
微生物含量：≤1cfu/ml
熱源含量：﹤0.001EU/mL
超純水出水電阻率：≥18.2MΩ·cm (25℃)
超純水出水電導率：≤0.055μs/㎝(25℃)
微雜質顆粒物(小于0.22μm)含量：≤1/ml
金屬陽離子含量(單位ppb)：
Fe＜0.005 Cu＜0.005 Al＜0.005
Ni＜0.005 Zn＜0.02 Cr＜0.005
Na＜0.01 K＜0.02
陰離子含量(單位ppb)：
Cl-＜0.01 NO2-＜0.02 NO3-＜0.02 SO42-＜0.01