去離子水是指除去了呈離子形式雜質后的純水。去離子水把水里的陰陽離子都除掉的水。主要通過RO膜和混床樹脂來把水中的離子除掉,常用制水儀有 MilliporeElix,但現在也有不少人把RO水也叫去離子水,這是不準確的。應用離子交換樹脂去除水中的陰離子和陽離子,但水中仍然存在可溶性的有機物,可以污染離子交換柱從而降低其功效,去離子水存放后也容易引起細菌的繁殖。從自來水到去離子水一般要經過幾步處理.先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質,?再分別依次通過陰陽離子交換柱去除離子,?然后加壓通過反滲透膜,?最后一般還要經過一步紫外殺菌以去除水中的微生物,假如此時電阻率還沒有達到要求的話,可以再進行一次離子交換和反滲透過程,而蒸餾水只是先氣化再冷凝,純度一般不如去離子水,實際半導體工業中用的大多數是去離子水。
國際標準化組織ISO/TC 147規定的“去離子”定義為:“去離子水完全或不完全地去除離子物質,主要指采用離子交換樹脂處理方法。”現在的工藝主要采用RO反滲透的方法制取。在半導體行業中,去離子水被稱為“超純水”或是“18兆歐水”。