超純水是一種純度極高的水，是指將水中的導電介質幾乎完全去除，同時把不離解的氣體、膠體以及有機物（包括細菌）也去除至很低程度的水。其電導率一般為0.1~0.055uS/cm，電阻率（25℃）>10x106Ω/cm ，含鹽量<0.1㎎/L.理想純水(理論上)為0.055 uS/cm，電阻率（25℃）為18.3x106Ω/cm
