歷來,對容積式真空泵(如旋片真空泵、滑閥真空泵、羅茨真空泵等)的極限真空度測試都是采用傳統的壓縮式真空計(即麥克勞真空計)。
在我國現行有關對容積式真空泵性能的測試標準(機械工業部標準JB/T7266294)中也明確地規定了這一點。
眾所周知,壓縮式真空計的誕生至今已有120年的歷史；
由于它是一種頗為有效的、直觀且價廉的優良式真空度測量儀表,所以一直使用到現在。
然而,它也存在著一個致命的弱點,其使用的工作介質為汞。
汞對于人類健康來說是一種有害有毒物質。
壓縮式真空計又是玻璃制品,操作人員稍有不慎,極易破碎,汞的外溢給人和環境帶來嚴重的公害。
因此,世界上發達國家早已撇棄用壓縮式真空計來作工作用真空計。
隨著我國整個工業水平的提高,人民物質生活的富裕,環境保護意識的強化；
對于壓縮式真空計使用的危害性也成為廣大用戶所認識,對于撇棄工作用壓縮式真空計的呼聲也日益高漲。
作為真空科技工作者,研制一種新穎的能完全替代壓縮式真空度的測試儀器是義不容辭的職責,并具有十分明顯的社會和經濟效益。
裝置原理
對于容積真空泵性能檢測用的壓縮式真空計,一般而言；
其量程在100～10-2Pa范圍,精度要求在±10%已足夠。
欲替代壓縮式真空計一定要滿足這一必要條件。
除此之外,按照現行部標準JB/T7266294的要求,用作容積真空泵性能檢測用的壓縮式真空計；
由于測量的是長久性氣體分壓強,因此又要求滿足測試長久性氣體分壓強的特定條件。
鑒于上述兩個要求,我們認為選擇薄膜真空計加冷阱的組合裝置不僅是適宜的,而且也是可取的。
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真空泵