塵埃粒子計數器用于半導體集成電路生產潔凈室

　　集成電路制造業是需要在一個超凈環境中進行的，它是使用超純材料進行超精細加工的行業。集成電路制造對潔凈室環境的控制有嚴格的要求，不同的工藝對清潔度有不同的要求。

 　　半導體集成電路在生產過程中會接觸到很多污染物，比如無機離子、有機物質、微生物、氣體雜質等等。另外，廣義而言，不適當的溫度、濕度、光照、靜電超標、電磁噪聲、空氣噪聲和微振動也是特殊的污染物。

　　其中，當顆粒雜質、無機離子、有機物質、微生物和氣體雜質的含量超過一定限度時，集成電路產品會出現表面劃傷、圖形斷裂、短路、針孔、脫皮等現象。導致電路泄漏和異常電氣特性，輕則影響電路性能和使用壽命，重則導致電路報廢。

　　通常，污染導致的電路產品故障率可能高達60%。簡言之，集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關，而缺陷密度與空氣中的粒子數有關。因此，隨著集成電路的迅速發展，不僅對控制空氣中顆粒的大小要求極高，而且對控制顆粒的數量也要求極高。同時，對超大規模集成電路生產環境中無塵車間項目的化學污染控制也有相關要求。

　　純凈度(潔凈度)潔凈度的理解：潔凈度指潔凈空氣中空氣含塵(包括微生物)量多少的程度。 

　　生產環境潔凈：半導體器件生產環境要求很嚴，要求恒溫、恒濕，按單位體積中規定的尺寸灰塵粒子為標準分成潔凈度的等級。一般分為10級、100級、1000級、10000級、100000級。

　　檢測(顆粒測試儀) 

　　1)浮游粒子潔凈度的檢測(顆粒測試儀)

　　采樣：任何潔凈區的取樣點不少于2個，除受潔凈區劃內的設備限制外，取樣點應在整個潔凈區均勻分布，每個選定的取樣點應至少取樣一次。在一個區內總共應最少取樣5次，每個取樣點取樣應多于一次，而不同的取樣點取樣次可以不同。

　　2)取樣量度和取樣時間：取樣量不少于0.00283立方米(合0.1立方英尺)，并且計算所得取樣量結果不得四舍五入。取樣時間可以用取樣量除以取樣速率來計算。

　　由數位無塵車間行業內專家擔當顧問，由多名資深內業潔凈間環境研發人員組建研發團隊，采用創新和高效相融合的模式，獨立研發了具備自主知識產權的中邦在線環境檢測系統，在制藥生物/電子無塵車間等行業，我們提供無塵車間環境檢測整體解決方案。在日常經營中，不斷完善產品體系，服務體系，工程體系。在與客戶的共同成長中，各個方面都取得了極大的進步。