1、不適于抽除含有爆炸性的氣體
2、不適于抽除含氧過高的氣體，隨著我國工業界的發展，在半導體工業、液晶顯示器等工藝制造中，對清潔真空環境的要求越來越高，而傳統的有油真空泵已經達不到這樣的要求了。干式螺桿真空泵以其抽速范圍寬、結構簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優點，得到越來越多制造和應用單位的重視，在干式真空泵市場中占有重要的地位，在歐美和日本等發達國家，螺桿型干式真空泵在很多領域已經越來越多的代替了傳統的有油泵
