1 : 多點測量的探測誤差
將標準圖形板安置在水平工作臺上，采用輪廓光照明。鏡頭選擇最大放大倍數，以保證測量只能通過多個局部圓弧（規定采用15個局部圓弧）測量計算圓參數。以自動捕捉邊緣點的方式獲得最佳測量結果，取10次測量圓的狀誤差值。
2：成像歧變的探測誤差
將標準圖形板安置在水平工作臺上，采用輪廓光照明。鏡頭選擇最大、最小和中間放大倍數，選擇合適的標準圓，使圓的像占視場的2/9，在9個位置測量圓的中心坐標，以單軸坐標變化的最大值作為測量結果。
3：照明影響的探測誤差
將標準圖形板安置在水平工作臺上，采用輪廓光照明。鏡頭選擇最大，最小和中間放大倍數選擇合適的標準圓，使圓的成像占視場的2/3，使用“整體提取圓"提取出圓的邊沿，計算圓直徑。
4：二維長度測量示值誤差校準
使用玻璃刻線尺，在水平軸向和對角線方向各測量2個位置，再由用戶任意指定一個位置，共7個位置進行校準測量。每個位置測量5個長度，每個長度測量3次，記錄測量值和標準值的差，得到105個示值誤差值。
5 : Z軸長度測量示值誤差
使用量塊豎立在工作臺上，利用表面光照明，采用自動聚焦的方式瞄準工作臺和量塊上表面，測量Z方向量塊高度值，與名義值比較，確定儀器Z軸長度測量示值誤差。