光學顯微鏡的分辨率主要影響因素是照明光源的波長，要提高分辨率關鍵是有波長短，又能聚焦成像的照明光源。電磁透鏡的分辨率由衍射效應和球面像差來決定，關鍵是確定電磁透鏡的最佳孔徑半角，使得衍射效應埃利斑和球差散焦斑尺寸大小相等
