微區X射線衍射儀是一種用于物理學、化學、材料科學、考古學領域的分析儀器，于2015年1月12日啟用。
技術指標
采用新一代的陶瓷X光管技術，焦斑位置穩定，衰減小，壽命長 ； 全自動可變狹縫，可以自由選擇固定狹縫大小或固定測量面積模式；高精度立式測角儀，樣品水平放置，最小步長及角度重復性皆為0.0001o；全譜范圍內所有峰的角度偏差不超過±0.01o； 林克斯一維陣列探測器：相對于常規探測器強度提高150倍以上，同時具有優秀的分辨率及信噪比；優異的能量分辨率：20％，無需單色器，即可有效去除含鐵樣品的熒光；直接將光管轉90度即刻完成點線光源的切換，支持小件樣品的微區無損分析。
主要功能
通過對材料進行X射線衍射，分析其衍射圖譜，獲得材料的成分、材料內部原子或分子的結構或形態。