1. 20世紀90年代
Manz、Harison等人開展早期的芯片電泳研究，并提出了微-全分析系統（μ-TAS）的概念。
2. 1994
Ramsy等在Manz的研究基礎上，改進了芯片毛細管電泳進樣方法，提高了其性能，同年，首屆μ-TAS會議在荷蘭召開。
3. 1995
首家從事微流控技術的Caliper公司成立，相關企業微流控技術研發也在緊密進行。
4. 1998
Whiteside提出用PDMS制作芯片的快速模板復制法
5. 1999
HP（Agilent）和Caliper公司聯合推出首臺微流控芯片商品化儀器，最早應用于生物分析和臨床分析領域。
6. 2000
軟光刻實現芯片上微閥、微泵。
7. 2001
創辦期刊Lab on a Chip，專門用于收錄微流控技術研究類文章。
8. 2002
微流控芯片大規模集成實現。
9. 2003
微流控技術被Forbes雜志列為“未來15年內影響人類最深“的發明之一。
10. 2004
微流控技術被Bussiness2.0雜志稱作“改變未來的7種技術”之一。