該技術是20世紀末發展起來的一種新型測量技術，將微量水分析技術提高到了一個新的水平。光纖濕度傳感器的表面為具有不同反射系數的氧化硅和氧化鋯構成的層疊結構，通過先進的熱固化技術，使傳感器表面的孔徑控制在0.3nm，0.28nm的水分子可以滲入。控制器發射出一束790-820nm的近紅外光，通過光纖電纜傳送給傳感器，進入到傳感器的水分子會改變光的反射系數，從而引起波長的變化，該變化量與介質的水分含量成相應的比例關系。通過測量接收到的光的波長，就可以得到介質的露點及水分含量。
優點：精度高，免維護，非常穩定，可測量含H2S、HCL等的腐蝕性介質。
缺點：傳輸光纖易折斷，需要保護。