微 X 射線熒光 (μXRF) 是一種元素分析技術，它允許檢測非常小的樣品區域。與傳統的 XRF 儀器一樣，微 X 射線熒光通過使用直接 X 射線激發來誘導來自樣品的特性 X 射線熒光發射，以用于元素分析。與傳統 XRF 不同（其典型空間分辨率的直徑范圍從幾百微米到幾毫米），μXRF 使用 X 射線光學晶體來限制激發光束尺寸或將激發光束聚焦到樣品表面上形成小光斑，從而可以分析樣品上的小特性。傳統 μXRF 儀器使用簡單的針孔光圈來限制樣品表面上的入射光束尺寸。只有與孔同軸的 X 射線才從光圈發射。遺憾的是，該方法阻擋了 X 射線源發射的大部分 X 射線通量，導致樣品上的入射通量低，這影響了該方法對微量元素進行分析的靈敏度。