擴散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一，通常指油擴散泵。擴散泵是一種次級泵，它需要機械泵作為前級泵。
自 1913 年 Gaede 發明擴散泵至今已有 101 年，在此期間技術上已經有很大進步。現在生產的油擴散泵抽速已達到 100000 L/s 以上，擴散噴射泵的抽速也達 40000 L/s，蒸汽流真空泵在真空應用領域中起著十分重要的作用。盡管有許多其它類型的抽氣方式也可以在高真空領域工作，但由于擴散泵結構簡單、操作和維護方便、使用壽命長、對各種氣體均有較好的抽氣特性，因而它一直是獲得高真空的主要抽氣設備。