1．鏡筒
鏡筒包括電子槍、聚光鏡、物鏡及掃描系統。其作用是產生很細的電子束（直徑約幾個nm），并且使該電子束在樣品表面掃描，同時激發出各種信號。
2．電子信號的收集與處理系統
在樣品室中，掃描電子束與樣品發生相互作用后產生多種信號，其中包括二次電子、背散射電子、X射線、吸收電子、俄歇（Auger）電子等。在上述信號中，zui主要的是二次電子，它是被入射電子所激發出來的樣品原子中的外層電子，產生于樣品表面以下幾nm至
幾十nm的區域，其產生率主要取決于樣品的形貌和成分。通常所說的掃描電鏡像指的就是二次電子像，它是研究樣品表面形貌的zui有用的電子信號。檢測二次電子的檢測器（圖15（2）的探頭是一個閃爍體，當電子打到閃爍體上時，1就在其中產生光，這種光被光導管傳送到光電倍增管，光信號即被轉變成電流信號，再經前置放大及視頻放大，電流信號轉變成電壓信號，zui后被送到顯像管的柵極。
3．電子信號的顯示與記錄系統
掃描電鏡的圖象顯示在陰極射線管（顯像管）上，并由照相機拍照記錄。顯像管有兩個，一個用來觀察，分辨率較低，是長余輝的管子；另一個用來照相記錄，分辨率較高，是短余輝的管子。
4．真空系統及電源系統
真空系統由機械泵與油擴散泵組成，其作用是使鏡筒內達到 10（4～10（5托的真空度。電源系統供給各部件所需的特定的電源。
掃描電鏡特點
（一） 能夠直接觀察樣品表面的結構，樣品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。
（二） 樣品制備過程簡單，不用切成薄片。
（三） 樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉，因此，可以從各種角度對樣品進行觀察。
（四） 景深大，圖象富有立體感。掃描電鏡的景深較光學顯微鏡大幾百倍，比透射電鏡大幾十倍。
（五） 圖象的放大范圍廣，分辨率也比較高。可放大十幾倍到幾十萬倍，它基本上包括了從放大鏡、光學顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學顯微鏡與透射電鏡之間，可達3nm。
（六） 電子束對樣品的損傷與污染程度較小。
（七） 在觀察形貌的同時，還可利用從樣品發出的其他信號作微區成分分析。
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