快速區分單層與多層石墨烯
激光源:532nm。
物鏡:100X,NA=0.9。
光譜數:67,600(400*169)。
測量時間:5分30秒。
通過高速高分辨拉曼成像技術,可以對不同層數的石墨烯快速成像。
以350納米的高空間分辨率,僅用5分鐘的測量時間即可識別從單層到四層的石墨烯及其分布。
材料應力分布
圖像分辨率:320(x)×400(y)=128,000 Spectra。
成像時間:16分鐘。
通過高速高分辨拉曼成像技術,可以探測到晶體結構的扭曲,如硅材料等。硅的Raman峰位于520cm。硅單晶中由于應力的作用,會造成晶格結構的偏離與扭曲。右圖通過測量Raman峰的偏離,進而給出了硅單晶表面應力的分布。
無損傷材料組分剖面分析
圖像分辨率:300(x)×120(z)=36,000 Spectra。
成像時間:8 分鐘。
右圖是通過高速高分辨拉曼成像技術的無損探測技術,對多層膜進行的深度剖析。通過聯用共聚焦光學系統與面掃描技術,可以成功地探測到深度圖像。
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