探針電流

探針電流       

    探針電流直接影響到束斑直徑、圖像信號強度、分辨率以及圖像清晰及失真程度等參數，而這些參數間又存在矛盾。電流越大電子束的束斑直徑越小，使分辨率增大，景深也增大。但是信號弱時，亮度有時會顯得不足、信噪比降低。對于一些高分子材料、生物樣品或一些不導電的樣品采用較大的探針電流，產生的電荷不能及時擴散遷移而形成積累，因而產生放電現象，難以得到高質量的形貌圖片；但是如果探針電流過小，會由于二次電子的信號較弱，本底雜散信號影響比較大，分辨率會下降，在高倍率下影響嚴重。因此探針電流選擇的原則是在反差和亮度滿足正常的情況下，加大探針電流，以便得到zui高的分辨率和較大的景深范圍。但是對于低倍率觀察圖像時要求豐富的層次結構為主，需要采用小一點的探針電流。