斐索干涉儀——光學測試儀器

　　 斐索干涉儀是一種原理為等厚干涉，用以檢測光學元件的面形、光學鏡頭的波面像差以及光學材料均勻性等的精密儀器。其測量精度一般為/10～/100,為檢測用光源的平均波長。

　　 斐索干涉儀原理為等厚干涉，用以檢測光學元件的面形、光學鏡頭的波面像差以及光學材料均勻性等的一種精密儀器。其測量精度一般為/10～/100,為檢測用光源的平均波長。常用的波面干涉儀為泰曼干涉儀和斐索干涉儀。

　　斐索干涉儀有平面的和球面的兩種，前者由分束器、準直物鏡和標準平面所組成，后者由分束器、有限共軛距物鏡和標準球面所組成。單色光束在標準平面或標準球面上，部分反射為參考光束；部分透射并通過被測件的，為檢測光束。檢測光束自準返回，與參考光束重合，形成等厚干涉條紋。用斐索平面干涉儀可以檢測平板或棱鏡的表面面形及其均勻性。用斐索球面干涉儀可以檢測球面面形和其曲率半徑，后者的測量精度約1微米；也可以檢測無限、有限共軛距鏡頭的波面像差。