奧譜天成一直致力于光譜解決方案的應用開發,基于高端光譜儀器國產化的目標,當前已完成拉曼光譜儀、光纖光譜儀、高光譜成像儀和地物光譜儀等產品線的全系列開發,并且已全方位應用于各行各業,“國產引領世界” 也是眾多用戶對于奧譜天成的肯定和贊譽!
在光譜儀器國產化推進過程中,奧譜天成一直是迎難而上,哪里有需求,哪里就有奧譜天成!當前,基于行業的痛點+用戶的需求,奧譜天成新增“工業測量”產品線,引進高端人才,全力投入“工業測量”產品應用研發,2個月內已完成“薄膜厚度測量儀”的系列開發。
奧譜天成SM200、SM230、SM280系列產品,是利用薄膜反射光干涉原理研制而成的智能薄膜厚度測繪儀。其中,該系列產品核心器件均采用高分辨率、高靈敏度光譜儀,結合奧譜天成獨有的算法技術,為用戶提供全新領先技術的自動光學薄膜厚度測量儀。
自動光學薄膜厚度測量儀
當入射光穿透不同物質的界面時將會有部分的光被反射,由于光的波動性導致從多個界面的反射光彼此干涉,從而使反射光的多波長光譜產生震蕩的現象。從光譜的震蕩頻率,我們可以判斷不同界面的距離進而得到材料的厚度(愈多的震蕩代表較大的厚度),而其他的材料特性如折射率與粗糙度也能同時測量。
奧譜天成充分吸收行業痛點、深挖客戶需求,傾心打造國內領先的自動薄膜厚度測量儀,其由主機光源發射光線,經由Y型光纖照射到被測樣品表面。Y型光纖由7根細光纖組成一個梅花狀,外側6根光纖射出光線,中間的一根光纖將反射回的干涉光導回到主機內部的光譜儀進行測量和計算。
SM230、SM280的測繪方式可以是極性、矩形或線性的,主機內置高性能運動控制器賦能可旋轉平臺支持多種預定義測繪方式,配備的上位機軟件支持用戶創建自己的測繪方式而不受測量點數量的限制,測量結果支持2D和3D呈現,點位地圖支持的形態:
*圓形/方形
*放射狀
*中心或邊緣排除
*點位密度
薄膜厚度最大測繪范圍可以達到1nm~250um。
基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系數的薄膜都可以測繪,這幾乎包含了所有的電介質和半導體材料,包括:
氧化硅、氮化層、類鉆薄膜、多晶硅、光刻膠、高分子、聚亞酰胺、非晶硅等。
l 半導體鍍膜:光刻膠、氧化物、淡化層、絕緣體上硅、晶片背面研磨;
l 液晶顯示:間隙厚度、聚酰亞胺、ITO透明導電膜;
l 光學鍍膜:硬涂層、抗反射層;
l 微電子系統:光刻膠、硅系膜狀物、印刷電路板;
l 生物醫學:醫療設備、Parylene
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