靠活塞往復運動使泵腔(氣缸)的工作容積周期性地變化來抽氣的真空泵,又稱活塞真空泵。往復真空泵的結構與往復活塞壓縮機相似。工作時,吸氣管接被抽真空容器,排氣管直通大氣。往復真空泵可用于真空蒸餾、真空濃縮、真空結晶、真空過濾、真空干燥和混凝土真空作業等。