日本電子推出了易用性與擴展性更強的場致發射掃描電子顯微鏡“JSM-7001F”。以15kV加速電壓下能夠得到200nA以上的探測電流(在探針中流動的電流)。因此能夠對微小區域快速分析,便于完成元素分析和結晶方位分析。售價7000萬日元。
“JSM-7001F”對每幅圖像的拍攝條件與試料位置等信息采用一元化管理方式,能夠簡單地再現數據。同時還配備了最多可同時觀察和收集4 幅圖像的功能。這樣就能在對二次電子圖像、TOPO圖像(強調凹凸效果的圖像)和COMPO圖像(合成圖像)3種圖像同時進行觀察,與樣品比較確定最佳條件,一次性取得所有的圖像。
放大倍率為10~100萬倍,最大可放置直徑200mm的試料。因為能夠將二次電子檢測器、反射電子檢測器、能量分散型X線光譜儀、波長分散型X線光譜儀、結晶方位分析檢測器、陰極射線發光檢測器放置到最佳位置,所以便于根據分析的目的進行功能擴展。
顯微鏡的分辨率方面,在加速電壓和動作距離(WD)分別為30kV和4mm的條件下為1.2nm,在1kV和4mm下為3.0nm,在電流量為5nA、加速電路為15kV、WD為10mm時為3.0nm。