日立場發射掃描電鏡榮獲“IEEE里程碑”獎

　　日前，為表彰1972年由日立制作所開發出的場發射掃描電子顯微鏡（FE-SEM）的實用化功績，電氣和電子工程師協會（IEEE）授予其場發射掃描電子顯微鏡“IEEE里程碑（IEEE Milestones）”獎。據悉，該獎由日立制作所與其旗下從事電子顯微鏡制造、銷售業務的日立高新技術（Hitachi High-Technologies）聯名獲得。

　　電氣和電子工程師協會（IEEE）總部在美國紐約市，是一個國際性的電子技術與信息科學工程師的協會，是當今全球最大的專業技術協會。而“IEEE里程碑“獎設立于1983年，主要用于表彰那些在電氣、電子、信息及通信領域的革新中，自開發后歷經25年以上仍被公認為對社會及產業發展有巨大貢獻的歷史偉業。

　　1968年，日立與芝加哥大學原教授Albert V. Crewe博士（1927-2009年）合作，將Albert V. Crewe博士開發的FE電子源實現實用化，并于1972年將其配備在掃描電子顯微鏡上，研制成了世界第一臺商用FE-SEM――HFS-2型。HFS-2型操作簡單，能夠以高穩定度和可靠度觀察高分辨率圖像。此后，日立又將該技術拓展推出測長掃描電子顯微鏡（CD-SEM），用于半導體生產線的過程控制，為當時的半導體器件微細化做出了貢獻。同時，日立推出的FE-SEM在全球首次成功觀察到了愛滋病病毒電鏡圖像，為醫療保健及生物科技領域的進步做出了貢獻。并且，日立還將FE-TEM應用到電子線全息技術，實際驗證了阿哈羅諾夫-玻姆效應（Aharonov-Bohm effect），對科學技術的驗證及發展也做出了重要貢獻。

　　2001年，日立制作所將其旗下的測量儀器集團和半導體制造設備集團分拆出來，與其貿易集團Nissei Sangyo公司合并為一家新公司――日立高新技術公司。目前，日立高新技術公司主要負責電子顯微鏡的制造、銷售等業務。因此，此次的“IEEE里程碑”獎同時頒發給了日立制作所與日立高新技術公司。