| 儀器名稱： | 顯微探針臺-Cascade EPS150FA |
| 儀器編號： | 18030302 |
| 產地： | 中國 |
| 生產廠家： | Cascade |
| 型號： | EPS150FA |
| 出廠日期： | |
| 購置日期： | 2018-11-15 |
| 所屬單位： | 集成電路學院>微納加工平臺>高精尖 |
| 放置地點： | 荷清大廈A座一層 |
| 固定電話： | 010-62799552-1168 |
| 固定手機： | 13910754014 |
| 固定email： | xugao@mail.tsinghua.edu.cn |
| 聯系人： | 高旭（010-62799552,13910754014,xugao@tsinghua.edu.cn） |
| 分類標簽： | 集成電路 |
| 技術指標： | 四路開爾文直流針座，支持兩寸探針臺 |
| 知名用戶： | 姜開利（物理系） |
| 技術團隊： | 測試工作由實驗室資深的工程師或者技術人員進行操作和支援。 |
| 功能特色： | 連接晶圓與測試設備，開展電學測試 |
| 項目名稱 | 計價單位 | 費用類別 | 價格 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| 顯微探針臺測試費 | 元/小時 | 自主上機機時費 | 80.0 |