點缺陷：在三維尺寸均很小，只在某些位置發生，只影響鄰近幾個原子。
線缺陷：在二維尺寸小，在另一維尺寸大，可被電鏡觀察到。
面缺陷：在一維尺寸小，在另二維尺寸大，可被光學顯微鏡觀察到。
體缺陷：在三維尺寸較大，如鑲嵌塊，沉淀相，空洞，氣泡等。
