金屬化合物經溶液、溶膠、凝膠而固化，再經低溫熱處理而生成納米粒子。其特點反應物種多，產物顆粒均一，過程易控制，適于氧化物和Ⅱ～Ⅵ族化合物的制備。
溶膠-凝膠法作為低溫或溫和條件下合成無機化合物或無機材料的重要方法，在軟化學合成中占有重要地位。在制備玻璃、陶瓷、薄膜、纖維、復合材料等方面獲得重要應用，更廣泛用于制備納米粒子。
具體應用領域：
①材料學：高性能粒子探測器，隔熱材料，聲阻抗耦合材料，電介質材料，有機-無機雜化材料，金屬陶瓷涂層耐蝕材料，納米級氧化物薄膜材料，橡膠工業
②催化劑方面：金屬氧化物催化劑，包容均相催化劑，
③色譜分析：制備色譜填料，制備開管柱和電色譜固定相，電分析，光分析。