1.在儀器控制菜單中，單擊“視圖”菜單，選擇“真空控制”，進入診斷與真空控制界面。
2.在真空菜單中選擇“放空”，工作站將柱溫設為30，關閉輔助加熱。該過程大約需要40分鐘。
3.等待放空結束，退出工作站，關閉計算機。
4.分別關閉氣相、質譜電源。
5.關閉載氣He。
