氫氣傳感器的應用材料及檢測原理

　　鈀、鎳、鉑及其合成物，常被用作制造氫氣傳感器的活性材料。具體來說，這些活性元素，可被看作可與氫元素發生反應的催化材料，且氫元素能與這些元素相容，還可溶于該元素。目前，作為為活性元素，鈀、鉑、鎳元素在氫傳感器中得以廣泛應用。

　　這些活性材料在吸收了氫分子之后，會改變其本身的物理參數。例如，在金屬氧化物半導體為基礎的電容式氫氣傳感器中，氫原子在金屬柵中擴散，并在鈀氧化物表面上形成了一個偶極層，該偶極層導致了活性元素的功函數的改變。