水準儀是在17～18世紀發明了望遠鏡和水準器后出現的。
20世紀初，在制出內調焦望遠鏡和符合水準器的基礎上生產出微傾水準儀。
20世紀50年代初出現了自動安平水準儀；
60年代研制出激光水準儀；90年代出現電子水準儀或數字水準儀。
