汞燈的光譜

橫坐標是波長，縱坐標是光幅（強度）。
關于X光，汞燈光譜中包含有X光，但強度已經很小了，達不到應用水平。其實可以看到，KrF,ArF的強度也不大，所以在早期i線的光刻機上用的是汞燈，而DUV的光刻機用的是準分子激光。
實驗室中的汞燈一般為線光譜，主要譜線波長為： 。