渦流測厚儀測厚
利用儀器上的專用探頭放在氧化過的表面上,膜的厚度可直接在刻度盤上讀出。測量范圍用0~50μm比較方便。
電壓擊穿法
用專門的電壓擊穿器測出氧化膜的擊穿電壓值,在刻度盤上可直接讀出氧化膜的厚度,或者對照表中查出。