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  • 發布時間:2024-06-07 14:48 原文鏈接: 清華大學儀器共享平臺ZeissFIB聚焦離子束

    儀器名稱:聚焦離子束 Zeiss FIB
    儀器編號:16005806
    產地:德國
    生產廠家:蔡司
    型號:Auriga
    出廠日期:201506
    購置日期:201603

    image.png

    樣品要求:

    FIB樣品要求:

    制備TEM樣品要求:直徑12.5mm以內,高度2mm以內,拋光級別0.5um以上。

    其他FIB加工要求:直徑32.5mm以內,剛性固定在樣品臺上;

    EBSD實驗樣品要求:樣品平整、無污染、無晶格畸變、固定在樣品臺上

    其他要求同SEM。


    預約說明:

    所屬單位:材料學院>材料中心 >電鏡中心
    放置地點:主樓東配樓11-112
    固定電話:
    固定手機:
    固定email:
    聯系人:王永力(010-62773015,13911378129,447293071@qq.com)
    閆允杰(010-62773996,13651374317,yanyunjie514@263.net.cn)
    分類標簽:SEM EBSD EDS FIB 3D 掃描電鏡 聚焦離子束 能譜儀 電子背散射衍射 3D圖像 3D成分 3D晶體取向 微納加工 沉積 焊接 TEM樣品制備 Grid制備 二次電子 背散射電子 二次電子像 背散射電子像 成分分析 織構分析 晶體取向分析 點分析 線分析 面分布
    技術指標:

    二次電子像:1.0nm@15kV,1.9nm@1.0kV

    離子槍:2.5nm束斑,束流1pA-20nA,束能量1kV-30kV

    EDS:范圍:B-U能量分辨率:124eV

    EBSD: 采集速率600p/S

    納米手:Omniprobe 200

    知名用戶:清華大學、物理所、北京科技大學等
    技術團隊:

    北京電子顯微鏡中心建設了一支由國際知名的電子顯微學和材料科學專家為學術帶頭人、由通曉電子顯微分析理論和技術及材料科學等相關理論的優秀研究和技術人員組成且結構合理的人才隊伍,由固定和客座研究人員組成,承擔科學研究、共享服務人才培養、設備管理和維護等具體工作,固定科研和技術人員共10人,其中院士1人,教授2人,副教授2人,高級工程師4人(博士一人,碩士兩人,學士一人),工程師3人(博士)。設備運行采取責任教授和責任工程師負責制。

    功能特色:

    可以進行SEM的分析測試(形貌、成分、晶體結構);可以進行微納米尺度加工(切割、焊接、沉積等);可以進行三維成像(3D-形貌、3D-EDS、3D-EBSD)等。

    項目名稱計價單位費用類別價格備注
    機時費元/小時自主上機機時費2000.0接受委托檢測、項目立項檢測,價格另議


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