1. 易獲得期望化學計量比的多組分薄膜，即具有良好的保成分性；
2. 沉積速率高，試驗周期短，襯底溫度要求低，制備的薄膜均勻；
3. 工藝參數任意調節，對靶材的種類沒有限制；
4. 發展潛力巨大，具有極大的兼容性；
5. 便于清潔處理，可以制備多種薄膜材料。
