激光器：
常使用Nd:YAG激光器，激光器的脈沖寬度一般為納秒量級，能夠在極短時間內在極小面積上集中大量能量，作為系統激勵源，很容易將樣品表面微量物質剝離并激發出等離子體。
集成成像模組：
模組內包含了相機，LED同軸照明系統和激光同軸光路，用戶直接在相機傳回的實時畫面上進行可視化對焦，可在觀察視野中選擇樣
品被轟擊的位置，并觀察樣品表面在轟擊前后的變化。
多通道光譜儀：
多通道光譜儀憑借其高效的外部同步時鐘，完美地協同了所有通道實現精確的延遲采集，準確的在原子激發輻射突出時采集到完整的原子譜線信號。同時可以應客戶的需求在180-1000nm的范圍內自由配置光譜儀的通道數量和覆蓋范圍，系統自帶的高效時鐘可以完美的同步所有通道，并同時實現精確觸發兩臺外部設備。（如激光器或微波增強設備）
激光安全：
當樣品倉倉門開啟時，激光器自動鎖定為不可開啟狀態，確保安全性。倉門集成了激光保護玻璃，完全隔絕1064nm激光散射傷害。光纖收光系統：
采用透鏡耦合的方式和近距離大面積收光，確保等離子發光zui大限度耦合到光纖內部，從而提高整個系統的檢測能力。透鏡可以保護光纖端面不受等離子體的污染，從而延長光纖使用壽命。
三維樣品平臺：
集成化的三維樣品平臺方便用戶放置多個樣品，全自動精確調整激光轟擊在樣品表面的位置和深度，并可以實現自動聚焦和自動掃描采樣*，極大地方便了用戶的測試使用。
集成充氣裝置：
集成充氣裝置可以實時向樣品臺內充入惰性氣體，一方面在樣品附近可以形成惰性氣體氣氛環境，可以延長等離子體的壽命；另一方面減少了倉內空氣對出現在真空紫外波段譜線的吸收，支持選配帶有抽真空*功能的小型樣品保護室。