牛津儀器等離子體技術—為刻蝕、沉積提供領先設備和工藝

　　分析測試百科網訊 2018年11月7日，牛津儀器在西安天驪君廷酒店召開等離子體技術在刻蝕與沉積工藝中的應用研討會，來自牛津儀器等離子技術部亞洲區銷售和服務副總裁Ian Wright先生為大家詳細介紹了牛津儀器等離子技術部的發展情況及產品介紹。研討會還邀請到西安電子科技大學楊凌教授、中國電子科技集團重慶聲光電有限公司首席專家馬晉毅博士分別介紹了三代半導體刻蝕技術的研究進展和未來發展，以及5G時代射頻微波濾波器的應用與發展。來自西安周邊地區的100余名用戶參加本次研討會，分析測試百科網受邀參加。

牛津儀器等離子技術在刻蝕和沉積工藝中的應用研討會現場

牛津儀器中國區總經理 張鵬先生

　　首先來自牛津儀器總經理張鵬先生在歡迎致辭中介紹到，牛津儀器經過20年的飛速發展，目前已在上海建立中國區總部，并在上海、北京、廣州設立辦事處，經銷服務網絡遍布全國。牛津儀器還在北京、上海兩地建立多個中國演示中心，包括原子力顯微鏡實驗室、NanoScience實驗室、納米分析實驗室，能更迅速地為客戶提供服務和支持，包括零配件供應、維護保養服務和服務合同、延長保修期計劃和延保合同、培訓服務、技術服務支持平臺、儀器搬家服務、儀器租賃服務等。

牛津儀器等離子技術部亞洲區銷售和服務副總裁 Ian Wright先生

　　來自牛津儀器等離子技術部亞洲區銷售和服務副總裁Ian Wright先生向與會者介紹了牛津儀器等離子技術部的產品介紹。牛津儀器等離子技術部可提供多種單腔和可集成多腔體的高性能工藝設備，支持多類刻蝕和沉積應用。2017-2018年牛津儀器等離子技術收入同比提高了13%；產品訂單量提高了25%，其中50%的增長來自亞太區（75%的銷量來自中國和臺灣地區），Ian Wright先生表示牛津儀器等離子體技術在2019年還將繼續保持增長的趨勢。

　　牛津儀器等離子技術能夠為實驗室用戶提供7000個工藝菜單，產品主要應用于光電子領域。例如iPhone手機3D人臉識別技術，帶動起來VCSEL激光器技術在光通訊，3D傳感以及無人駕駛雷達領域的飛速發展，牛津儀器在VCSEL產品的刻蝕和沉積方面具有相當高的市場占有率。

　　此外，手機從2G發展到5G時代，射頻濾波器的需求量從幾個增長到上百個，呈指數級的增長狀態；RFMEMS的能量收集器利用壓電材料的特性，從而取得一些神奇的效果。例如通過壓電收集器在指甲蓋大小的芯片上實現動能和電能之間的能量轉換。如何生長和刻蝕這些壓電材料，都是牛津儀器未來關注的焦點。Ian Wright先生還表示牛津儀器也會把這牛津儀器獨有的新技術首先成功應用于中國市場，再輻射到全球市場。

西安電子科技大學 楊凌教授

　　來自西安電子科技大學楊凌教授帶來題為《三代半導體刻蝕技術的研究進展和未來發展》的報告。報告中，楊教授從等離子體的基礎開始，同大家詳細介紹了等離子體反應的基本原理；并介紹了其實驗室在化合物半導體的干法刻蝕、介質/鈍化層刻蝕技術、背通孔快速刻蝕技術的研究成果。

　　報告中，楊教授指出中性粒子刻蝕（NBE）是目前等離子體刻蝕技術的發展趨勢，該技術刻蝕后表面更光滑與柵金屬之間的界面更清晰，采用NBE技術的器件開啟電阻明顯減小，器件柵極泄露電流明顯降低，開關比提高了三個量級。

　　最后，楊教授表示西安電子科技大學寬帶隙半導體技術重點實驗室作為我國在三代半導體領域的先導技術研制中心，希望今后能夠跟牛津儀器展開深度的合作，共同研發出示范的樣本，帶動我國三代半導體刻蝕技術的發展。

中國電子科技集團重慶聲光電有限公司首席專家 馬晉毅博士

　　中國電子科技集團重慶聲光電有限公司首席專家 馬晉毅博士為大家介紹了5G時代射頻微波濾波器的應用與發展。

牛津儀器等離子技術首席工程師鄧麗剛博士

牛津儀器等離子技術科技部經理黃承揚博士

　　研討會期間，來自牛津儀器等離子技術首席工程師鄧麗剛博士和牛津儀器等離子技術科技部經理黃承揚博士為大家介紹牛津儀器等離子技術的具體應用。包括光學器件中InP刻蝕工藝、功率半導體器件制造中氮化鎵，砷化鎵以及碳化硅刻蝕面臨的挑戰、VCSEL制造的等離子解決方案以及深硅刻蝕在MEMS和TSV中的應用。

研討會期間還舉辦了抽獎環節，牛津儀器為與會老師提供了豐富的獎品

　　牛津儀器中國區總經理張鵬表示牛津儀器始終專注于與客戶展開廣泛長期的合作，例如設立獎學金、同用戶一起進行新產品技術的研發、建立合作實驗室、召開技術應用研討會。牛津儀器每個事業部都會定期組織各類主題的技術交流會，幾乎每周都會舉辦，這也成為牛津儀器在中國一大特色。據了解牛津儀器即將和中科大一起聯合組織一系列大型研討會，更加偏向于應用和學術交流，努力為國內科研專家搭建學術交流的平臺。