1、鍍料的氣化。即使鍍料蒸發，升華或被濺射，也就是通過鍍料的氣化源。2、鍍料原子、分子或離子的遷移。由氣化源供出原子、分子或離子經過碰撞后，產生多種反應。3、鍍料原子、分子或離子在基體上沉積。物理氣相沉積技術工藝過程簡單，對環境改善，無污染，耗材少，成膜均勻致密，與基體的結合力強。該技術廣泛應用于航空航天、電子、光學、機械、建筑、輕工、冶金、材料等領域，可制備具有耐磨、耐腐蝕、裝飾、導電、絕緣、光導、壓電、磁性、潤滑、超導等特性的膜層。
