系統由兩個主要部分組成：
（1）TEOM傳感器單元：包括采樣器和質量傳感器。
（2）TEOM控制單元：包括操作終端和控制電子系統。
TEOM 是錐形元件振蕩微天平（Tapered Element Oscillating Microbalance）的縮寫。
震蕩微天平是個石英錐形管，其根部固定，可換式濾膜置于按自然震蕩頻率的錐形管頂端，震蕩頻率取決于錐形管的物理特性及濾膜質量,電子系統能連續監測此頻率的變化。
當微粒聚集于濾膜上時，錐形管的自然震蕩頻率相應減少。根據質量和頻率間的相關變化，微處理器能及時計算出濾膜上所累計顆粒物的總質量‵質量流量和質量濃度。