環形槍結構簡單、成本低,并能以簡單的電源裝置工作。槍體由環形燈絲、陽極、陰極、聚焦線圈和偏轉線圈等組成。環形燈絲處于負高壓,用做熱電子發射源,在聚焦極的定向反射和陽極的加速作用下,使電子束會聚于坩堝蒸發源中心。環形槍和直形槍在使用時,高能電子束轟擊材料將發射二次電子。