電子探針又稱微區X射線光譜分析儀、X射線顯微分析儀。
其原理是利用聚焦的高能電子束轟擊固體表面，使被轟擊的元素激發出特征X射線，按其波長及強度對固體表面微區進行定性及定量化學分析。主要用來分析固體物質表面的細小顆粒或微小區域，最小范圍直徑為1μm左右。分析元素從原子序數3（鋰）至92（鈾）。絕對感量可達10-14至10-15g。
近年形成了掃描電鏡-顯微分析儀的聯合裝置，可在觀察微區形貌的同時逐點分析試樣的化學成分及結構。廣泛應用于地質、冶金材料、水泥熟料研究等部門。如圖《電子探針示意圖》所示。