電子探針儀是一種用于物理學、材料科學領域的分析儀器，于2017年06月05日啟用。
技術指標
1. 二次電子像分辨率：5nm，背散射電子像分辨率：20nm（拓撲像、成分像）；
2. 加速電壓：0 ～ 30kV；束流范圍：10-5～ 10-12A；圖像放大倍數：×40～×300,000；
3. 波譜系統分析元素：5B -92U；定量分析精度：識別0.2 wt%以上的元素。
主要功能
1、金屬材料的相分析、成分分析和夾雜物形態成分鑒定，固體材料表面涂層、鍍層進行分析；
2、金銀飾品、寶石首飾的鑒別，考古和文物鑒定，以及刑偵鑒定等領域；。