電子探針分析的基本介紹

以聚焦的高速電子來激發出試樣表面組成元素的特征X射線,對微區成分進行定性或定量分析的一種材料物理試驗,又稱電子探針X射線顯微分析。電子探針分析的原理是：以動能為10～30千電子伏的細聚焦電子束轟擊試樣表面，擊出表面組成元素的原子內層電子，使原子電離，此時外層電子迅速填補空位而釋放能量，從而產生特征X射線。
用波長色散譜儀（或能量色散譜儀）和檢測計數系統,測量特征X射線的波長（或能量）和強度，即可鑒別元素的種類和濃度。
在不損耗試樣的情況下，電子探針通常能分析直徑和深度不小于1微米范圍內、原子序數4以上的所有元素；但是對原子序數小于12的元素，其靈敏度較差。常規分析的典型檢測相對靈敏度為萬分之一，在有些情況下可達十萬分之一。檢測的絕對靈敏度因元素而異，一般為10-14～10-16克。用這種方法可以方便地進行點、線、面上的元素分析，并獲得元素分布的圖象。對原子序數高于10、濃度高于10%的元素，定量分析的相對精度優于±2%。