電子探針是目前微區元素定量分析最準確的儀器。電子探針的檢測極限(能檢測到的元 素最低濃度)一般為（0.01－0.05）wt%， 不同測量條件和不同元素有不同的檢測極限，但 由于所分析的體積小，所以檢測的絕對感量極限值約為 10-14 g，定量分析的相對誤差為(1— 3)%，對原子序數大于 11，含量在 10wt% 以上的元素，其相對誤差通常小于 2%。
