一、電子顯微鏡的分辨力和放大率 電子顯微鏡是利用電子流代替光學顯微鏡的光束使物體放大成像而由此得名的。發射電子流的電子源部分稱為電子槍,電子槍由發射電子的“V”形鎢絲及陽極板組成,在高真空中,鎢絲被加熱到白熾程度,其尖端便發射出電子,發射出來的電子受到陽極很高的正電壓的吸引,使電子得到很大的加速度而到達樣品。電壓越高,電子流速度越快,波長越短,其分辨能力也越強。一般用50-100 kV電壓時,電子波長在0.54-0.37 nm,所以電子顯微鏡的分辨力極高,可達0.2 nm左右,此分辨力比光學顯微鏡提高了近1 000倍。 在電子流的通路上不能有游離的氣體分子存在,否則由于氣體分子與電子的碰撞而造成電子的偏轉,導致物像散亂不清。因此,電子顯微鏡除需要高電壓外,還需要高真空的裝置。 電子顯微鏡的放大率是由透鏡決定的,在電子顯微鏡中,透鏡是由看不見的電磁場構成的,稱為電磁透鏡,簡稱磁透鏡。由電子槍發射出的電子流可以通過磁透鏡的磁場吸引發生偏折而放大物體,這與光學顯微鏡的光線通過玻璃透鏡發生折射而放大物體的情況一樣,但它不同于光學顯微鏡的是可利用多個磁透鏡的組合而得到逐級放大的電子像,所以現代電子顯微鏡的成像系統由多個電磁透鏡組成。而光學顯微鏡由于玻璃透鏡本身存在有相差的缺陷,其放大率不能通過增加透鏡的數目來無止境地提高。 此外,通過改變這些電磁透鏡的磁場強度也可提高放大率。磁場越強,焦距越短,放大倍數也就越大。所以現代電子顯微鏡的成像物鏡大多數采用短焦距的強磁透鏡,放大倍數可達一百萬倍以上。 二、電子顯微鏡的成像原理 任何一個物體都是由原子組成的,原子則是由原子核與軌道電子組成的。當電子束照射到樣品上的時候,一部分電子能從原子與原子之間的空隙中穿透過去,其余的電子有一部分會與原子核或原子的軌道電子發生碰撞被散射開來;一部分電子從樣品表面被反射出來;還有一些電子是被樣品吸收以后,樣品激化而又從樣品本身反射出來等。如果把所有這些不同類型的電子收集起來,使它們成像,便可以構成不同類型的電子顯微鏡。這里只著重介紹透射電子顯微鏡和掃描電子顯微鏡。 1. 透射電子顯微鏡 透射電子顯微鏡收集的是透過樣品的電子。在透射電子顯微鏡中,物像的形成主要來自電子的散射作用與干涉作用。散射作用分“彈性散射”和“非彈性散射”兩種。彈性散射指電子和原子核發生碰撞,電子基本上不損失能量,而只是改變運動方向,這種碰撞稱為彈性碰撞,這時候我們說電子發生了“彈性散射”作用。如果電子是和軌道電子發生碰撞,電子不僅會改變原來運動的方向,而且還會損失一部分能量,這時電子便發生了“非彈性散射”作用。 由于物體上不同部位的結構不同,它們散射電子的能力也各不相同,結果使透過樣品的電子束發生疏密的差別,在散射電子能力強的地方,透過去的電子數目少,因而打在熒光屏上所發出的光就弱,顯現為暗區;而散射電子能力弱的地方,透過的電子數目多,打在熒光屏上所發出的光就強,顯現為亮區,這樣,便在終像上造成了有亮有暗的區域,因而出現了反差,人眼就可以辨別。散射作用形成的反差造成強度上的變化,因此又稱為“振幅反差”。由于在電子顯微鏡中利用的是人眼看不見的電子流,所以通常用一塊熒光屏來把電子流轉換成可見的熒光,使人眼可以接受。 除了散射作用能引起反差外,電子的干涉作用也能造成反差,在電子發生非彈性碰撞的時候,由于電子會失去一部分能量,因而使它前進的速度變慢,這部分速度減慢的電子會和速度不變的電子發生干涉作用,結果造成電子相位上的變化,從而也引起反差,稱為“相位反差”。 在低倍觀察時,振幅反差是主要的反差來源,而在高倍觀察時,也就是在辨別極小的(如1 nm大小)細微結構時,相位反差則起主要作用。 2. 掃描電子顯微鏡 與透射電子顯微鏡不同,掃描電子顯微鏡是把從樣品表面反射出來的電子收集起來并使它們成像,所以又稱反射電子顯微鏡。掃描電子顯微鏡的成像原理與電視或電傳真照片的原理相似,由電子槍產生的電子束經過三個磁透鏡的作用,形成一個很細的電子束,稱為電子探針。電子探針經過透鏡聚焦到樣品表面上,按著順序逐行逐行地通過樣品,也就是對樣品掃描,然后把從樣品表面發射出來的各種電子(二次電子、反射電子等)用探測器收集起來,并轉變為電流信號經放大后再送到顯像管轉變成圖像。 掃描電子顯微鏡主要用來觀察樣品的表面結構,分辨力可達10 nm,放大范圍很廣,可從20倍到幾十萬倍。透射電子顯微鏡的分辨力雖然很高,但是一般只能觀察切成薄片后的二維圖像,掃描電子顯微鏡能夠直接觀察樣品表面的立體結構,并且具有明顯的真實感。許多電子無法透過的較厚樣品,只能用掃描電子顯微鏡才能看到。 |