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  • X射線微量分析(X-ray microanalysis)的基本原理是:在電鏡內用高速電子束轟擊固體標本的微小區域,使該區域所含的元素發射一定波長和強度的X射線,由X射線檢測器接收并分辨各種元素所發射的X射線的特征性波長和能量強度,借以確定標本內所含的元素種類和含量。其方法有兩種:①波長彌散X射線微量分析(Wave length dispersive x-ray microanalysis WDX),簡稱波譜分析;②能量彌散X射線微量分析(energy dispersive x-ray microanalysis,EDX);簡稱能譜分析。目前國內外多使用能譜分析。用于轟擊標本的電子束極細。

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